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  • Vacuum Devices
  • 진공 호환 장치

■ Vacuum Devices(진공 호환 장치)는 2가지 제품군으로 분류
  1. High Vacuum Devices
  2. Low Vacuum Devices
■ 제품별 주요 특징은 하단 설명 참조




1. High Vacuum Devices
■ Vacuum compatible to 10-6 torr
■ 25 ~ 600 mm travel
■ 10 ~100 kg load capacity
■ Up to100 ~ 205 mm/s speed and up to 35 ~ 100 N thrust
■ Built-in controller; daisy-chains with other Zaber products
■ Custom versions available

2. Low Vacuum Devices
■ Vacuum compatible to 10-3 torr
■ 25 ~ 600 mm travel
■ 10 ~100 kg load capacity
■ Up to100 ~ 205 mm/s speed and up to 35 ~ 100 N thrust
■ Built-in controller; daisy-chains with other Zaber products
■ Custom versions available
  •  
    • High Vacuum Devices
    상세 규격 표
    Cat. No. Model Description
    M01-680-530 X-LRQ075AL-SV2-KX14P   High vacuum, motorized linear stage, 75 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-535 X-LRQ150AL-SV2-KX14P   High vacuum, motorized linear stage, 150 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-540 X-LRQ300AL-SV2-KX14P   High vacuum, motorized linear stage, 300 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-545 X-LRQ450AL-SV2-KX14P   High vacuum, motorized linear stage, 450 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-550 X-LRQ600AL-SV2-KX14P   High vacuum, motorized linear stage, 600 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-555 X-LSM025A-SV2-KX14P   High vacuum, motorized Linear Stage, 25 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-560 X-LSM050A-SV2-KX14P   High vacuum, motorized Linear Stage, 50 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-565 X-LSM100A-SV2-KX14P   High vacuum, motorized Linear Stage, 100 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-570 X-LSM150A-SV2-KX14P   High vacuum, motorized Linear Stage, 150 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-575 X-LSM200A-SV2-KX14P  High vacuum, motorized Linear Stage, 200 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-580 T-NA08A25-SV2-KT03X06P   High vacuum linear actuator, 25 mm travel, RS-232
    M01-680-585 T-NA08A50-SV2-KT03X06P   High vacuum linear actuator, 50 mm travel, RS-232
    • High Vacuum Devices Specification
    상세 규격 표
    Specification
    Value Value Value
    Model X-LRQ-SV2 Series X-LSM-SV2 Series T-NA-SV2 Series
    Feature High vacuum motorized linear stages with built-in controllers High vacuum miniature motorized linear stages with built-in controllers High vacuum micro linear actuators with built-in controllers
    Built-in Controller Yes Yes Yes
    Repeatability < 2.5 µm <1 ~4 um < 1 µm
    Communication Interface RS-232 RS-232 RS-232
    Communication Protocol Zaber ASCII (Default), Zaber Binary Zaber ASCII (Default), Zaber Binary Zaber Binary
    Maximum Centered Load 1000 N 100 N 46 N
    Maximum Cantilever Load 3000 N-cm 300 N-cm  
    Guide Type Recirculating Ball Linear Guide Needle roller bearing  
    Maximum Current Draw 1200 mA 350 mA 350 mA
    Power Supply 24-48 VDC 24-48 VDC 12-16 VDC
    Power Plug None, use X-PIB None, use X-PIB None, use T-DSUB9-P
    Motor Steps Per Rev 200 200 200
    Data Cable Connection Teflon flying leads with M8 4 pin M/F Teflon flying leads with M8 4 pin M/F Teflon flying leads with Minidin 6 pin M/F
    Mechanical Drive System Precision lead screw Precision lead screw Precision lead screw
    Limit or Home Sensing Magnetic home sensor Magnetic hall sensor Magnetic hall sensor
    Manual Control No No No
    Axes of Motion 1 1 1
    LED Indicators Yes Yes Yes, Bi-colour
    Mounting Interface M6 and M3 threaded holes M3 and M6 threaded holes and M4 threaded center hole 3/8-32 nut, 3/8" shank, or M3 screws
    Vacuum Compatible High vacuum (10-6 Torr) High vacuum (10-6 Torr) High vacuum (10-6 Torr)
    Operating Temperature Range 0 to 50 degrees C 0 to 50 degrees C 0 to 50 degrees C
    RoHS Compliant Yes Yes Yes
    CE Compliant Yes Yes Yes
    Tranvel Range 75 ~ 600 mm 25.4 ~ 203.2 mm 25.4 or 50.8 mm
    Accuracy 15 ~ 150 um 8 ~ 61 um 15 or 30 um
    Maximum Speed 35 ~ 205 mm/s 24 ~ 100 mm/s 8 mm/s
    Peak Thrust 60 ~100 N 15 ~35 N 46 N
    • Low Vacuum Devices
    상세 규격 표
    Cat. No. Model Description
    M01-680-600 X-LRQ075AL-SV1-KX14P   Low vacuum, motorized linear stage, 75 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-605 X-LRQ150AL-SV1-KX14P   Low vacuum, motorized linear stage, 150 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-610 X-LRQ300AL-SV1-KX14P   Low vacuum, motorized linear stage, 300 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-615 X-LRQ450AL-SV1-KX14P   Low vacuum, motorized linear stage, 450 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-620 X-LRQ600AL-SV1-KX14P   Low vacuum, motorized linear stage, 600 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-625 X-LSM025A-SV1-KX14P   Low vacuum, motorized Linear Stage, 25 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-630 X-LSM050A-SV1-KX14P   Low vacuum, motorized Linear Stage, 50 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-635 X-LSM100A-SV1-KX14P   Low vacuum, motorized Linear Stage, 100 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-640 X-LSM150A-SV1-KX14P   Low vacuum, motorized Linear Stage, 150 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-645 X-LSM200A-SV1-KX14P  Low vacuum, motorized Linear Stage, 200 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
    M01-680-650 T-NA08A25-SV1-KT03X06P   Low vacuum linear actuator, 25 mm travel, RS-232
    M01-680-655 T-NA08A50-SV1-KT03X06P Low vacuum linear actuator, 50 mm travel, RS-232
    •  Low Vacuum Devices Specification
    상세 규격 표
    Specification
    Value Value Value
    Model X-LRQ-SV1 Series X-LSM-SV1 Series T-NA-SV1 Series
    Feature High vacuum motorized linear stages with built-in controllers High vacuum miniature motorized linear stages with built-in controllers High vacuum micro linear actuators with built-in controllers
    Built-in Controller Yes Yes Yes
    Repeatability < 2.5 µm <1 ~4 um < 1 µm
    Communication Interface RS-232 RS-232 RS-232
    Communication Protocol Zaber ASCII (Default), Zaber Binary Zaber ASCII (Default), Zaber Binary Zaber Binary
    Maximum Centered Load 1000 N 100 N 46 N
    Maximum Cantilever Load 3000 N-cm 300 N-cm  
    Guide Type Recirculating Ball Linear Guide Needle roller bearing  
    Maximum Current Draw 1200 mA 350 mA 350 mA
    Power Supply 24-48 VDC 24-48 VDC 12-16 VDC
    Power Plug None, use X-PIB None, use X-PIB None, use T-DSUB9-P
    Motor Steps Per Rev 200 200 200
    Data Cable Connection Teflon flying leads with M8 4 pin M/F Teflon flying leads with M8 4 pin M/F Teflon flying leads with Minidin 6 pin M/F
    Mechanical Drive System Precision lead screw Precision lead screw Precision lead screw
    Limit or Home Sensing Magnetic home sensor Magnetic hall sensor Magnetic hall sensor
    Manual Control No No No
    Axes of Motion 1 1 1
    LED Indicators Yes Yes Yes, Bi-colour
    Mounting Interface M6 and M3 threaded holes M3 and M6 threaded holes and M4 threaded center hole 3/8-32 nut, 3/8" shank, or M3 screws
    Vacuum Compatible High vacuum (10-3 Torr) High vacuum (10-3 Torr) High vacuum (10-3 Torr)
    Operating Temperature Range 0 to 50 degrees C 0 to 50 degrees C 0 to 50 degrees C
    RoHS Compliant Yes Yes Yes
    CE Compliant Yes Yes Yes
    Tranvel Range 75 ~ 600 mm 25.4 ~ 203.2 mm 25.4 or 50.8 mm
    Accuracy 15 ~ 150 um 8 ~ 61 um 15 or 30 um
    Maximum Speed 35 ~ 205 mm/s 24 ~ 100 mm/s 8 mm/s
    Peak Thrust 60 ~100 N 15 ~35 N 46 N

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