• FOSB, 12inch Shipping BOX, 25 slots
  • 12인치 웨이퍼 쉬핑박스, 포스비

■ SEMI / FIMS Compliant
■ Front Opening Shipping Box (FOSB)
■ 완성된 웨이퍼를 반도체 생산업체로 출하 수송하는데 이용되는 클린박스
■ Manual opening and closing
■ Ultrapure, low outgassing materials protect wafers
■ 강력한 웨이퍼 고정으로 파티클 생성 감소
■ 도어 분해 없이 청소 가능
■ 외부 이송 과정에서 발생하는 충격 및 진동에 강하도록 설계됨
■ EPAK



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    상세 규격 표
    Cat.No. Model Description Wafer
    W01-261-420 L12-FOSB Shipping Box (FOSB) 12 inch


    상세 규격 표
    Cat.No. W01-261-420
    Model L12-FOSB
    Carrier TypeFront Opening Shipping Box (FOSB)
    Wafer Size 12 inch (300mm)
    Wafer Capacity 25
    Wafer Spacing 10mm (±0.5mm Positional tolerance wafer to wafer, non-cumulative)
    Weight4.9 kg (Empty) / about 8.1 kg (Full Loaded)
    Size Included Handler & Robotic Flangew395×d340×h338 mm
    Excluded Handler & Robotic Flangew388×d340×h333 mm

    * All datum established relative to kinematic coupling per SEMI

    * Fist Wafer Position - 44mm nomial relative to horizontal datum plane